主要针对MEMS传感器、智能传感器以及集成电路等相关产品的功能和性能的检测。MEMS传感器作为硬件设备的关键组件，其性能稳定性和准确度直接影响整个系统的可靠性和功能性。通过性能验证可以确保传感器在制造过程中的一致性，并检验其在实际应用中的性能指标是否满足需求。只有经过充分验证的传感器才能够被广泛应用于各个行业领域。

检测设备：配备MEMS 压阻式压力敏感芯片性能测试系统、光机电一体化测试仪、双面晶圆探针测试仪、X-Ray、微焦 MEMS 扫描仪、飞针测试仪等检测设备。

检测项目：开展光闪测试、校验，电性测试，机械测试，光学测试灵敏度、响应时间、线性度、分辨率、重复性、稳定性、温度影响、跨感、抗干扰性、重复性、重现性等传感器性能检测。

检测标准：GB/T 33905、 GB/T 33929, GB/T 33922, GB/T 35086 等。